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プロファイルフィルタはプロファイルを大規模と小規模のコンポーネントに分割します。
プロファイルS-フィルタは小規模コンポーネントを削除し、プロファイルL-フィルタは大規模コンポーネントを削除します。

ネスティングインデックスNic (以前のカットオフλc) は粗さから波形への遷移を定義します。

平均線は、プロファイルの各ポイントに対する加重平均値を形成することにより位相補正フィルタで生成されます。

重み関数は、各プロファイルポイントを指定します。この重み係数により隣接するプロファイルポイントが平均値形成に入力されます (ガウス釣鐘曲線)。

R-プロファイル (粗さプロファイル)は、プロファイルSフィルタの中心線からの一次プロファイルの偏差です。粗さプロファイルを表示する時、平均線が基準線になります。